工廠廢氣處理的三個(gè)主要原因

***先是健康和安全，許多運(yùn)用的進(jìn)程氣體是易燃或爆炸性的，如H2或SiH4，而另一些則是COF2，HBr，F(xiàn)2等毒物，所以必須在觸摸人類或野生動(dòng)物之前進(jìn)行處理。***二個(gè)原因是所運(yùn)用的許多氣體對環(huán)境是危險(xiǎn)的，例如CF4，其運(yùn)用壽數(shù)約為。在***氣中有五萬年的前史，其全球變暖潛力為二氧化碳的6.500倍。

工廠廢氣處理的***三個(gè)原因是許多廢氣在氣流中含有許多顆粒或粉塵。例如，這種粉塵通常是在根據(jù)硅烷（SiH4）的堆積進(jìn)程中產(chǎn)生的，反響后的硅烷產(chǎn)生二氧化硅作為十分纖細(xì)的塵土作為廢產(chǎn)品。這種粉塵有或許損壞設(shè)備排氣，導(dǎo)致制造工廠意外停機(jī)。使塵土難以處理的是顆粒規(guī)范通常是亞微米級(jí)的并且簡單經(jīng)過濕洗滌器或物理過濾器而不被捕集在洗滌液中。