當廢氣進入等離子體凈化光解機器和設備,它***先通過等離子體化學反應過程,也就是說,電子從電場的能量,***個或原子激發或電離能量獲取能量的或原子,同時一些電離,并成為活性基團;然后這些反應基團與或原子碰撞，產生穩定的產物和熱量。

　　然后將部分有機廢氣經過分解、分解和催化氧化，分解成無毒、無害、無味的氣體。高能c波段光用于裂解污染氣體的鏈，改變物質的結構，將***污染物熱解氧化成無害的水、二氧化碳等低物質。O3強催化氧化劑用于尾氣的催化氧化，能有效殺滅細菌，對有毒有害物質造成損害并為低無害物質。C波段激光刺激催化劑涂層產生活性，增強催化氧化。在分解過程中，產生高能、高臭氧的uv-uv光束，分解空氣中的氧，游離氧，即活性氧。由于氧攜帶的正負電子的不平衡，它必須與氧結合才能產生臭氧。UV+O2 O-+O*(活性氧)O+O2 O3(臭氧)，已知臭氧對有機物有較強的氧化作用，對異味等刺激性氣味有較強的清除作用。O3也是一種強催化氧化劑，用于催化尾氣氧化，裂解細菌在惡臭氣體中的鍵，細菌的核酸(DNA)，然后通過臭氧氧化反應，完成除臭殺菌。

　　低溫等離子體技術在外加電場的作用下，利用介質放電產生的***量載能電子轟擊污染物。***先，在等離子體產生的過程中，高頻放電產生的瞬時高能足以打開一些有害氣體的化學能，將其分解成簡單的原子或無害的。其次，等離子體中含有***量的高能電子、正離子和負離子、激發態粒子以及高度氧化的基。這些活性粒子與一些氣味發生碰撞，使其在電場作用下受到激發。當氣味獲得的能量***于其鍵能的結合能時，氣味的化學鍵就會直接分解成簡單的原子或由單個原子組成的無害氣體。同時，***量的·OH、·HO2、·O等活性基和高度氧化的O3會與有害氣體發生反應，***終生成無害的產物。它可以將復雜的***污染物為簡單的小安全物質，也可以將有毒有害物質為無毒物質，使污染物得到降解和去除。

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